Keysight 34420A 納伏表/微歐表詳解

Keysight 34420A 是是德科技（Keysight Technologies）推出的一款Keysight 是德34420A 納伏表微歐源表，集成了納伏級(jí)電壓測(cè)量和微歐級(jí)電阻測(cè)量能力，專為低電平信號(hào)檢測(cè)、微小電阻測(cè)量和精密傳感器測(cè)試設(shè)計(jì)。該儀器在半導(dǎo)體材料分析、超導(dǎo)研究、航空航天和計(jì)量校準(zhǔn)等領(lǐng)域具有關(guān)鍵應(yīng)用。

1. 核心功能與特點(diǎn)

1.1 超高靈敏度測(cè)量

• 電壓測(cè)量：

• 量程：10 nV ~ 100 V

• 分辨率：1 nV（最小可測(cè)信號(hào)）

• 精度：±0.0035% 讀數(shù) + 100 nV（1年校準(zhǔn)）

• 電阻測(cè)量：

• 量程：10 μΩ ~ 100 MΩ

• 分辨率：0.1 μΩ（四線制）

• 精度：±0.05% 讀數(shù) + 0.5 mΩ（1年校準(zhǔn)）

1.2 低噪聲技術(shù)

• 輸入噪聲：< 50 nV p-p（10 Hz ~ 1 kHz帶寬）

• 共模抑制比：> 120 dB（50 Hz/60 Hz）

• 熱電動(dòng)勢(shì)補(bǔ)償：自動(dòng)消除導(dǎo)線溫差引起的誤差（< 100 nV）

1.3 靈活配置

• 四線制（開爾文）測(cè)量：消除接觸電阻影響

• 內(nèi)置電流源：

• 可編程電流：1 μA ~ 100 mA

• 支持DC/脈沖模式（避免被測(cè)器件發(fā)熱）

• 多通道掃描：通過(guò)外部開關(guān)矩陣擴(kuò)展至多點(diǎn)位測(cè)試

2. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

2.1 半導(dǎo)體與材料研究

• 晶圓級(jí)接觸電阻：測(cè)量金屬互連線的Rc（< 1 mΩ）

• 超導(dǎo)材料臨界電流：檢測(cè)nV級(jí)失超信號(hào)

• 熱電材料塞貝克系數(shù)：微伏級(jí)溫差電勢(shì)測(cè)量

2.2 精密制造與計(jì)量

• 標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)：10 μΩ ~ 1 kΩ標(biāo)準(zhǔn)件傳遞

• 繼電器觸點(diǎn)電阻：評(píng)估壽命老化（μΩ級(jí)變化）

• PCB導(dǎo)通電阻：高密度封裝互連測(cè)試

2.3 航空航天與能源

• 衛(wèi)星太陽(yáng)翼電路：nV級(jí)漏電流檢測(cè)

• 電池內(nèi)阻分析：充放電循環(huán)中的μΩ級(jí)變化

• 電流傳感器分流電阻：高精度標(biāo)定

3. 技術(shù)規(guī)格

4. 系統(tǒng)配置方案

基礎(chǔ)配置

• 34420A主機(jī)

• 低熱電動(dòng)勢(shì)測(cè)試線（鍍金觸點(diǎn)）

• 四線制開爾文測(cè)試夾具

擴(kuò)展選件

• 34420A-001：高穩(wěn)定性恒流源（±1 ppm/°C）

• 3499A開關(guān)矩陣：支持多通道自動(dòng)掃描

• N6705C電源模塊：為被測(cè)器件供電

5. 操作示例（超導(dǎo)材料測(cè)試）

1. 連接被測(cè)樣品：

• 使用四線制接法，避免引線電阻影響。

2. 設(shè)置參數(shù)：

• 電流源輸出 10 mA（脈沖模式防發(fā)熱）。

• 電壓量程 100 mV，帶寬限制 10 Hz。

3. 數(shù)據(jù)采集：

• 監(jiān)測(cè)電阻躍遷至 0 Ω（臨界溫度Tc點(diǎn)）。

4. 分析結(jié)果：

• 繪制R-T曲線，計(jì)算超導(dǎo)轉(zhuǎn)變寬度。

6. 與同類儀器對(duì)比

7. 總結(jié)

Keysight 34420A 憑借其 nV/μΩ級(jí)測(cè)量能力 和 低噪聲設(shè)計(jì)，成為以下領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)工具：

• 前沿材料研究（如石墨烯、超導(dǎo)體）

• 高精度制造（芯片封裝、航天電子）

• 計(jì)量實(shí)驗(yàn)室（標(biāo)準(zhǔn)電阻/電壓傳遞）

對(duì)于需要檢測(cè)極微弱信號(hào)或微小電阻變化的用戶，34420A 提供了遠(yuǎn)超普通萬(wàn)用表的測(cè)試極限。如需技術(shù)資料或演示，Keysight 是德34420A 納伏表微歐源表